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设备应用 |
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大尺寸载物台同轴光照明体视镜,主要应用于3'4'5'6'8'12'wafer(晶圆)以及15'一下LCD的全表面观察.
可搭载旋转载物台,方便圆形轨迹的观测 |
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部件组合参数 |
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①显微镜 |
A体视显微镜SZ4045CHI（OLYMPUS)
6V20W同轴光照明方式
0.67X-4X连续变倍
10X,15X,20X目镜可选
B体视显微镜SMZ645（NIKON)
0.8X-5X连续变倍
10X,15X,20X目镜可选
备注:
各类进口国产体视显微镜都可以搭载 |
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②载物台 |
OLYMPUS
SIC系列载物台(可搭载旋转载物台)
4',6',8',12'载物台
特点:
提供两种移动方式,高速移动(解锁时),X,Y方向定量微小量移动
优质的机械部件提供了高效准确,随心所欲的移动方式 |
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③可选附件 |
各类辅助照明方式,
以及数码采集设备(CMOS
ccd,ccd,DC) |
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特点 |
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选用了各大光学厂商的优秀部件,
按客户需求提供性价比极高的各类配合
X,Y精准的手动定位,
搭载旋转载物台,轻松实现对试样的旋转观察 |
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实物照片 |
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